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2011年,美、德、日、意几个大国的第四代自由电子激光装置已经基本完成建设。而华国才刚开始批复项目建设,至今还未有属于自己的第四代自由电子激光装置!
盛明安对第四代自由电子激光光源倒是挺熟悉,因他前世研发光刻机,自然涉猎过构成光刻机核心技术之一的光源。
就目前而言,光刻机主流光源是激光等离子(lpp),因为西方的高端科技封锁政策,国内的lpp光刻机在学术上与国外壁垒相差实在太大。
但就未来发展而言,激光器将会碍于功率问题而限制光源制程,同时限制光刻机光源的更进一步发展,而解决方案就是第四代自由电子激光光源。
2006年,英特尔就曾提过利用fel技术进行光刻。
话题扯远了,就用最简单的话语来说明所谓的同步辐射光源吧。
将同步辐射光源比喻成眼睛,人们可以用这�
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